Χημική σύνθεση: συνήθως από καθαρό ζιρκόνιο (Zr) ή κράματα ζιρκονίου (όπως κράμα ζιρκονίου-αφνίου Zr-Hf).
Δομική μορφή: Οι κοινές μορφές περιλαμβάνουν στρογγυλούς στόχους και ορθογώνιους στόχους.
Ακρίβεια διαστάσεων: απαιτεί υψηλή ακρίβεια διαστάσεων και φινίρισμα επιφάνειας.
Πυκνότητα: Απαιτείται υψηλή πυκνότητα για να διασφαλιστεί η σταθερότητα και η ποιότητα του φιλμ κατά τη διάρκεια της ψεκασμού.
Ποιότητα επιφάνειας: Η επιφάνεια πρέπει να είναι λεία, χωρίς ρωγμές, χωρίς εμφανείς πόρους και ακαθαρσίες.
Εμφάνιση εικόνας λεπτομερειών προϊόντος στόχου ζιρκονίου
zr μεταλλικός στόχος εκτόξευσης
Ζιρκονίου sputtering τιμή στόχο
